VIP Thành viên
Chi tiết sản phẩm
Giới thiệu sản phẩm
・Được sử dụng để thu giữ các thành phần dễ bay hơi (chất gây ô nhiễm hữu cơ) trên bề mặt của các tấm silicon 8 inch và 6 inch. (SW-8400)
・Được sử dụng để thu giữ các thành phần dễ bay hơi (chất gây ô nhiễm hữu cơ) trên bề mặt tấm silicon 12 inch. (SW-12400)
・Bắt một mặt silicon wafer khí dễ bay hơi, hoạt động dễ dàng.
・Lò sưởi sử dụng phương pháp treo ngược, chỉ lấy mẫu khí được tạo ra ở mặt trước của wafer.
・Được sử dụng để thu giữ các thành phần dễ bay hơi (chất gây ô nhiễm hữu cơ) trên bề mặt tấm silicon 12 inch. (SW-12400)
・Bắt một mặt silicon wafer khí dễ bay hơi, hoạt động dễ dàng.
・Lò sưởi sử dụng phương pháp treo ngược, chỉ lấy mẫu khí được tạo ra ở mặt trước của wafer.
・Lò sưởi có thể được làm nóng đến 500 ℃.
・Niêm phong lò sưởi được niêm phong bằng vòng chữ O (vật liệu polyimide), không rò rỉ.
・Thông thường sử dụng PAT (tích nội dung 10ml, đầy 2,5g Tenax GR) để bắt khí. Bạn cũng có thể chọn các nhà sản xuất tương ứng để lấy mẫu.
・Niêm phong lò sưởi được niêm phong bằng vòng chữ O (vật liệu polyimide), không rò rỉ.
・Thông thường sử dụng PAT (tích nội dung 10ml, đầy 2,5g Tenax GR) để bắt khí. Bạn cũng có thể chọn các nhà sản xuất tương ứng để lấy mẫu.
・Được trang bị thiết bị tuần hoàn nước làm mát.
・Được trang bị thiết bị chống quá nhiệt, thiết bị an toàn khóa liên động, nút dừng khẩn cấp, cảm biến rò rỉ nước (tùy chọn) và các thiết bị phòng ngừa an toàn khác.
・Được trang bị thiết bị chống quá nhiệt, thiết bị an toàn khóa liên động, nút dừng khẩn cấp, cảm biến rò rỉ nước (tùy chọn) và các thiết bị phòng ngừa an toàn khác.
Thông số kỹ thuật
|
Cách
|
Cách treo ngược
|
|
Kích thước tấm silicon bẫy
|
8 "hoặc 6", 5 "sau đây cần thêm vòng mở rộng (Model 12400, 12")
|
|
Nhẫn O
|
Đường kính niêm phong 220mm (polyimide)
|
|
Lò sưởi thạch anh
|
Chất liệu thạch anh trong suốt
|
|
Cách sưởi ấm lò sưởi
|
Chế độ sưởi độc lập cho tấm trên cùng và tấm dưới
|
|
Nhiệt độ sử dụng lò sưởi
|
Thông thường 400 ℃ (lên đến 500 ℃)
|
|
Làm mát lò sưởi
|
Nhà máy tuần hoàn nước làm mát
|
|
Ống cách nhiệt
|
Xử lý mạ trơ bề mặt bên trong
|
|
Thổi khí
|
Thông thường với nitơ, lưu lượng sử dụng tối đa 500ml/phút
|
|
Thiết bị chống quá nhiệt
|
Dòng điện 15A, dòng điện cảm ứng 30mA
|
|
Nút dừng khẩn cấp
|
Màu đỏ, loại nấm
|
|
Thiết bị an toàn
|
Cấu trúc Interlocking
|
|
Phương pháp điều áp
|
Động cơ điện
|
|
Kích thước thiết bị
|
1140(W)×1106(H)×750(D)mm
|
|
Cân nặng
|
280Kg
|
|
Nguồn điện
|
Một pha AC200V, 15A・AC100V, 20A
|
|
Phụ kiện tiêu chuẩn:
|
|
|
PAT (ống hấp phụ cấp 1):
|
2) Mễ Phất Thập Nhất Trát Thích Văn (phần 2) (
|
|
Khung PAT
|
1 (không phù hợp với các công ty khác)
|
|
Bộ chuyển đổi PAT
|
1 (sử dụng đồng bộ với các công ty khác)
|
|
Nhẫn O
|
2 chiếc
|
|
Nhà máy tuần hoàn nước làm mát
|
1 bộ (kèm theo ống phân phối tiêu chuẩn)
|
|
Ống cách nhiệt
|
1 ống
|
|
Phân phối khí
|
1 bộ (1/16 "-1/8")
|
|
Dây cáp
|
1 bộ
|
|
Công cụ
|
1 bộ
|
|
Hướng dẫn vận hành
|
1 quyển
|
* Thông số kỹ thuật của mô hình SW-12400 xin vui lòng yêu cầu.
Yêu cầu trực tuyến
-
Liên hệ
-
Công ty
-
Điện thoại
-
Thư điện tử
-
Trang chủ
-
Mã xác nhận
-
Nội dung tin nhắn
-