Giới thiệu chức năng sản phẩm:

Công nghệ làm sạch plasma có nguồn gốc từ ngành công nghiệp bán dẫn khoảng 30 năm trước, và làm sạch plasma chủ yếu được sử dụng để làm sạch hydrocarbon trên bề mặt mẫu. Điểm chính của việc làm sạch plasma là: không thể thay đổi thành phần hóa học của chính mẫu; Không thể thay đổi cấu trúc của mẫu; Không thể làm hỏng bề mặt mẫu.
SOLARUS - Hệ thống làm sạch plasma tiên tiến hoàn toàn mới để loại bỏ ô nhiễm hydrocarbon trên bàn mẫu TEM và SEM hoặc mẫu. Solarus là một hệ thống plasma thế hệ mới với các khái niệm và công nghệ mới được cải tiến giúp nó có hiệu suất tốt hơn, hoạt động dễ dàng và hiệu quả làm sạch tốt. So với bất kỳ hệ thống làm sạch plasma nào khác trên thị trường, Solarus mang lại hiệu quả làm sạch hiệu quả.

Giới thiệu thương hiệu:

Công ty GATAN của Mỹ được thành lập vào năm 1964 và gia nhập thị trường Trung Quốc vào cuối những năm 1970. GATAN nổi tiếng trong cộng đồng gương điện toàn cầu về hiệu suất cao và sự tiên tiến trong công nghệ của các sản phẩm của mình.

Là nhà sản xuất phụ kiện hàng đầu thế giới được thiết kế và sản xuất để tăng cường và mở rộng chức năng của kính hiển vi điện tử, các sản phẩm của họ đáp ứng nhu cầu của tất cả các bước từ chuẩn bị mẫu đến hình ảnh, phân tích và hơn thế nữa. Phạm vi ứng dụng sản phẩm bao gồm khoa học vật liệu, khoa học đời sống, địa vật lý, điện tử, khoa học năng lượng và các lĩnh vực khác, phạm vi khách hàng bao gồm các viện nghiên cứu khoa học, trường đại học, các cơ quan kiểm tra khác nhau và các phòng thí nghiệm của các công ty công nghiệp lớn trên toàn thế giới, và đã được công nhận rộng rãi trong lĩnh vực nghiên cứu khoa học quốc tế.

Giới thiệu đại lý:

Oubo Tong Co., Ltd., nhà cung cấp dịch vụ công nghệ nano vi mô hàng đầu tại Trung Quốc, là một doanh nghiệp công nghệ cao với các doanh nghiệp có vốn đầu tư nước ngoài làm nền tảng đầu tư, có trụ sở tại Hồng Kông với các chi nhánh và văn phòng tại Bắc Kinh, Thượng Hải, Liêu Ninh, Sơn Đông và các nơi khác. Là một đối tác chiến lược quan trọng của kính hiển vi điện tử Seimerfly, thiết bị tạo mẫu kính hiển vi điện tử quét GATAN và thiết bị phân tích liên kết trong khu vực Trung Quốc, công ty tuân theo khái niệm kinh doanh "xây dựng thương hiệu bán dụng cụ có ảnh hưởng trong nước", kết hợp với Seimerfly, thương hiệu GATAN mạnh mẽ, đang cung cấp sản phẩm chất lượng cao và dịch vụ kỹ thuật quốc tế cho hàng chục nghìn người dùng Trung Quốc.

Các tính năng kỹ thuật chính của sản phẩm:

Solarus là một giải pháp làm sạch độc đáo sử dụng công thức plasma để làm sạch nhanh hơn và triệt để hơn cho tất cả các mẫu, bao gồm cả màng carbon Holey. Thiết bị này có thể rửa sạch các chất ô nhiễm lắng đọng trên bề mặt một cách an toàn - mở rộng thời gian quan sát các mẫu đã bị ô nhiễm. Hệ thống chân không sử dụng bơm phân tử kết hợp với bơm màng nhiều giai đoạn đảm bảo hiệu quả bơm nhanh và đáng tin cậy. Thời gian hút khí và xả khí không đến 1 phút, 30 giây - 2 phút rửa sạch, toàn bộ quá trình không cần 2 phút.

Lợi ích của việc sử dụng Plasma Cleaning:

Tăng cường khả năng hình ảnh

Cải thiện độ chính xác của phân tích nguyên tố

Trong SEM, kéo dài thời gian quan sát và thu thập EDX và EBSD

Các đốm nhỏ hơn có thể được sử dụng, điều này rất quan trọng đối với phân tích STEM và EELS trong TEM/STEM.

Thông số kỹ thuật chính của sản phẩm:

Nguồn RF 50 Watt RF Power Supply với chức năng tự động phù hợp với công suất

Hệ thống hút chân không 70 lít/giây bơm phân tử với bơm màng hai giai đoạn

Áp suất không khí: áp suất cơ bản 5E-6 Torre, áp suất làm việc 400mTorre

Máy đo chân không: Máy đo Pilani nhỏ gọn

Phòng ngủ:

Hai giao diện phía trước có thể tải bộ chuyển đổi TEM để tải thanh mẫu TEM chèn bên và thanh mẫu SEM

Đầu vào hàng đầu được sử dụng để đưa vào bảng mẫu SEM, các bộ phận ống kính hiển vi hoặc các bộ phận chân không khác nhau

Kích thước cabin 3,5 "Đường kính x 2,0" Độ sâu

Cửa sổ phía trước có thể quan sát ánh sáng plasma khi làm việc

Van điện từ tích hợp ngăn cách cabin và máy bơm chân không với thời gian hút chân không dưới 1 phút và thời gian xả dưới 5 giây.

Kiểm soát khí: Sử dụng đồng hồ đo lưu lượng khối chính xác để đo và kiểm soát lưu lượng khí

Loại khí: Sử dụng khí độc lập ba chiều (H2, O2 và Ar)

Công thức làm sạch: Cung cấp một loạt các công thức có chứa công thức H2/O2 trong khi hỗ trợ công thức tùy chỉnh của người dùng

Giao diện người dùng: Sử dụng màn hình cảm ứng tương tác, cung cấp giao diện đa ngôn ngữ như tiếng Trung, tiếng Anh, v.v.

Nguồn điện: Điện áp/tần số chung 100VAC - 240VAC/50-60Hz/1000W

So với máy làm sạch plasma truyền thống, những ưu điểm chính của Solarus:

1.) Công thức H2/O2 độc đáo

2.) Chu kỳ làm sạch nhanh hơn (ít hơn 2 phút)

3.) Thiết kế màn hình cảm ứng tương tác

4.) Cung cấp 7 công thức hoạt động một chạm đã được thử nghiệm

5.) 2 cổng mẫu phía trước để tải TEM chèn bên và thanh mẫu SEM

6.) Cổng mẫu hàng đầu có thể tải nhiều (>25) TEM microgrid hoặc bảng mẫu SEM/mẫu

7.) Nguồn RF với công suất phù hợp tự động đảm bảo sự ổn định lâu dài của nguồn plasma

8.) Kiểm soát lưu lượng khí chính xác (đồng hồ đo lưu lượng khối lượng)

9.) Làm sạch Holey Carbon Film với thiệt hại nhỏ

10.) Hỗ trợ nhiều ngôn ngữ (tiếng Anh, tiếng Trung, tiếng Nhật, tiếng Hàn, tiếng Pháp, tiếng Đức)

Ứng dụng chính của sản phẩm:

Loại bỏ ô nhiễm hydrocarbon trên bàn mẫu TEM và SEM hoặc mẫu