Giới thiệu chức năng sản phẩm
Máy phủ mài mòn chính xác (PECS) của Gatan Corporation ™) II là một thiết bị đánh bóng ion rộng và mạ màng. Đối với cùng một mẫu, đánh bóng và mạ có thể được hoàn thành trong cùng một môi trường chân không.

Các tính năng kỹ thuật chính của sản phẩm:
Máy phủ mài mòn chính xác (PECS) ™) II， Sử dụng hai chùm ion argon rộng để đánh bóng bề mặt mẫu, loại bỏ lớp mất mát, do đó có được mẫu chất lượng cao, được sử dụng để chụp ảnh, EDS, EBSD, CL, EBIC hoặc các phân tích khác trên SEM, Photoscope hoặc đầu dò điện tử quét, ngoài ra hai khẩu súng ion này được nhắm mục tiêu phún xạ, có thể được sử dụng để xử lý lắng đọng màng kim loại dẫn điện cho mẫu để ngăn chặn hiệu ứng tích điện xảy ra trong gương điện.
Thiết bị này được thiết kế để không phá hủy chân không và không để bề mặt tươi của mẫu tiếp xúc với khí quyển để xử lý mẫu đã đánh bóng. Việc xếp dỡ các mẫu được thực hiện trong khoang trao đổi chân không thông qua một công cụ gắn mẫu được thiết kế đặc biệt.
Hai khẩu súng ion Panning nhỏ với dải điện áp lớn hơn để cung cấp hiệu ứng đánh bóng nhanh và mềm. Các chùm ion thấp tới 100 eV cung cấp hiệu ứng ném nhẹ nhàng hơn để đánh bóng mẫu. Các điện cực tập trung năng lượng thấp làm cho đường kính của chùm ion phù hợp với gần như toàn bộ dải điện áp tăng tốc. Mỗi khẩu súng ion có thể được ghép chính xác và độc lập. Trong quá trình vận hành thiết bị, góc của súng ion có thể được điều chỉnh. Luồng không khí của súng ion có thể được điều chỉnh bằng tay hoặc tự động trên màn hình cảm ứng để tối ưu hóa dòng điện làm việc của súng ion.
Bàn mẫu PECS II sử dụng phương pháp làm lạnh nitơ lỏng. Có thể bảo vệ mẫu hiệu quả, tránh tổn thương nhiệt chùm ion, loại bỏ ảo giác có thể xảy ra.
Máy tính màn hình cảm ứng màu 10 inch tích hợp cung cấp toàn quyền kiểm soát tất cả các thông số hoạt động của hệ thống PECS II. Giao diện này có thể thiết lập tất cả các thông số và có thể giám sát quá trình đánh bóng. Tất cả các tham số hoạt động cũng có thể được lưu dưới dạng tiêu chuẩn, và việc gọi tiêu chuẩn cho phép lặp lại thí nghiệm với độ chính xác cao.
Máy bơm phân tử turbo kết hợp với máy bơm màng ngăn hai giai đoạn đảm bảo môi trường siêu sạch. Công cụ xử lý mẫu của Gatan cho phép trao đổi mẫu nhanh (<1 phút) để đảm bảo khoang gia công luôn ở trạng thái chân không cao trong quá trình thay đổi mẫu.

Chú thích ảnh: (A) Một bức ảnh điện tử thứ cấp trên bề mặt của mẫu được đánh bóng PECSII, cho thấy các hạt có độ tinh thể song sinh cao (B) PECSII đánh bóng các hợp kim zirconium với các mẫu hoa cúc (C) EBSD Góc phân bố (D) IPFZ mặt trận. Hình ảnh lịch sự của Giáo sư Angus Wilkin-son và Tiến sĩ Hamidreza Abdolvand, Trường Vật liệu, Đại học Oxford. Dữ liệu được thu thập trên gương quét Zeiss Merlin Compact được trang bị hệ thống EBSD BrukerQuantax.