Kính hiển vi lực nguyên tử Park Systems XE-7

Giới thiệu công cụ:

Lợi khí nghiên cứu lĩnh vực nano siêu cao. Thiết kế tách ba trục độc đáo, cả hai đảm bảo XYZ ba hướng mà không có hiệu ứng khớp nối, về nguyên tắc loại bỏ lỗi xoắn phẳng; Đồng thời, máy quét trục Z độc lập, thực hiện quét không tiếp xúc thực sự, mở rộng đáng kể phạm vi áp dụng mẫu. Đường dẫn ánh sáng trực tiếp từ trên xuống, thuận tiện cho người dùng quan sát đầu dò và mẫu, cách lắp đặt đầu dò được thiết kế đặc biệt, đơn giản hóa quá trình điều chỉnh đường dẫn ánh sáng và giảm độ khó vận hành.

Thông số kỹ thuật của kính hiển vi lực nguyên tử Park Systems XE-7:

Máy quét

Máy quét XY

Hướng dẫn linh hoạt vòng kín điều khiển Single Module Scanner

Phạm vi quét 10μm * 10μm (tùy chọn 50μm * 50μm, 100μm * 100μm)

Độ lệch phẳng:<2nm (quét 40μm * 40μm)

Máy quét Z

Hướng dẫn linh hoạt Máy quét mạnh mẽ

Phạm vi quét 12μm (25μm tùy chọn)

Tần số cộng hưởng:>5kHz

Tiếng ồn hình ảnh bề mặt: 0,03nm

Bảng mẫu

Kích thước mẫu: 100mm * 100mm * 20mm

Trọng lượng mẫu: zui lớn 500g

Phạm vi di chuyển của bảng mẫu: 13mm * 13mm

Các tính năng chính:

I. Quét hướng XY chính xác, loại bỏ hoàn toàn lỗi ghép chéo

● Sử dụng máy quét phẳng XY khép kín độc lập và máy quét trục Z

● Máy quét quét loại phẳng, lỗi uốn cực kỳ nhỏ

● Lỗi tuyến tính ngang nhỏ hơn 2nm trong toàn bộ phạm vi quét

● Đo chiều cao chính xác

Hai, Non-Contact ™ Chế độ (thực sự không tiếp xúc) có thể kéo dài tuổi thọ kim, cung cấp độ phân giải cao và bảo vệ mẫu

● Tốc độ servo Z gấp 10 lần so với ống gốm áp điện

● Chế độ không tiếp xúc có thể làm giảm mài mòn kim và kéo dài tuổi thọ

● Độ phân giải hình ảnh tốt hơn so với kính hiển vi nguyên tử tương tự

● Tăng cường khả năng tương thích mẫu và cải thiện độ chính xác quét

Mở rộng chức năng phong phú của Zui

● Hỗ trợ nhiều chế độ SPM

● Hỗ trợ nhiều chế độ đo tùy chọn

● Hỗ trợ tất cả các loại phụ kiện tùy chọn, hiệu suất mở rộng vượt trội

Thiết kế zui tiện lợi

● Không gian mẫu mở để cải thiện hiệu quả thay thế mẫu và kim

● Cài đặt đầu kim được sắp xếp trước và đường dẫn ánh sáng trực tiếp đồng trục cho phép căn chỉnh laser trực quan

● Khóa tuxedo dễ dàng loại bỏ đầu quét