Kính hiển vi lực nguyên tử Park Systems XE-15

Giới thiệu công cụ:

Park XE-15 có khả năng tương thích mẫu toàn diện. Thiết kế bàn mẫu đa dạng của nó cung cấp môi trường thử nghiệm thuận tiện và đáng tin cậy cho các kích cỡ, hình dạng và số lượng mẫu khác nhau. Máy quét XY khép kín tháo khớp nối, loại bỏ lỗi hiệu ứng uốn cong, cung cấp độ tuyến tính. Chế độ quét không tiếp xúc thực sự, mở rộng sự phù hợp với các loại mẫu, đồng thời kéo dài đáng kể tuổi thọ đầu dò và giảm chi phí sử dụng.

Thông số kỹ thuật của kính hiển vi lực nguyên tử Park Systems XE-15:

Máy quét

Máy quét XY

Hướng dẫn linh hoạt vòng kín điều khiển Single Module Scanner

Phạm vi quét 100μm * 100μm (tùy chọn 50μm * 50μm)

Độ lệch phẳng:<2nm (quét 40μm * 40μm)

Máy quét Z

Hướng dẫn linh hoạt Máy quét mạnh mẽ

Phạm vi quét 12μm (25μm tùy chọn)

Tần số cộng hưởng:>5kHz

Tiếng ồn hình ảnh bề mặt: 0,03nm

Bảng mẫu

Loại bảng mẫu: bảng mẫu 16 vị trí/bảng hấp thụ chân không đường kính 150mm (bảng hấp thụ chân không đường kính 200mm tùy chọn)

Kích thước mẫu: 150mm * 150mm * 20mm

Trọng lượng mẫu: zui lớn 500g

Phạm vi di chuyển của bảng mẫu: 150mm * 150mm (tùy chọn 200mm * 200mm)

Các tính năng chính:

I. Thiết kế bàn mẫu đa điểm sáng tạo, mang lại hiệu quả làm việc

● Một thao tác zui có thể quét 16 mẫu

● Đặt mẫu đơn giản, quét nhanh

● Cải thiện đáng kể độ chính xác và độ lặp lại của dữ liệu

Thứ hai, hỗ trợ mẫu siêu lớn để đáp ứng nhu cầu phát triển của ngành công nghiệp

● Zui hỗ trợ wafer 200 mm để đáp ứng nhu cầu hiện tại và tương lai của người dùng

● Thiết kế đặc biệt để đáp ứng nhu cầu thực tế của người dùng liên quan đến chất bán dẫn

III. Lựa chọn chế độ chức năng phong phú

● Hỗ trợ đầy đủ các chức năng SPM

● Hỗ trợ nhiều chế độ đo tùy chọn

● Hỗ trợ tất cả các loại phụ kiện tùy chọn, hiệu suất mở rộng vượt trội