Pura Plus mới được thiết kế đặc biệt cho các biến thể nhu cầu mới nhất của ngành công nghiệp wafer về kích thước và chỉ số của thiết bị. Pura Plus là một máy phát không đồng nhất độ ẩm vi lượng trực tuyến được lắp đặt trong một nhà máy bán dẫn ở cuối nguồn cung cấp khí đến dây chuyền sản xuất để theo dõi các ứng dụng của khí trơ siêu tinh khiết. Hệ thống khí trong nhà máy được phân bố phức tạp và liên quan đến nhiều nhánh, nút và điểm sử dụng. Do đó, sau khi theo dõi độ ẩm thông thường, độ ẩm sẽ xâm nhập do rò rỉ vi lượng, thiết kế hệ thống không hiệu quả, lỗi thành phần hoặc lỗi quá trình, v.v., ảnh hưởng đến việc sử dụng hạ lưu. Pura Plus được cài đặt trong hệ thống phân phối có thể cung cấp chỉ báo phản hồi nhanh ở mức độ ẩm 20 ppb Thời gian đáp ứng cho các biến động 1 ppb nhỏ hơn 1 phút. Điểm nổi bật Phản ứng nhanh với độ ẩm không đồng đều ở mức ppb Độ nhạy ở mức độ ẩm thấp ppb (<1 ppb) Một khái niệm hoàn toàn mới về cài đặt đo lường đa điểm Yêu cầu bảo trì thấp Chỉ báo trạng thái của loại đèn tín hiệu Có thể thiết lập các điểm cảnh báo và báo động Mạng Modbus tương thích Phần mềm đa kênh cho giao diện điều khiển từ xa (UHP) Phát hiện dòng khí siêu tinh khiết
Chỉ số kỹ thuật
Tốc độ phản hồi <1 phút 20 ppb Thời gian đáp ứng thay đổi độ ẩm 1 ppb Phạm vi độ ẩm 1 ppb đến 20.000 ppm Phạm vi áp suất 0 đến 10 bar Lớp chịu áp lực 300 thanh Kiểm tra rò rỉ 0-9 mbar l / giây Phạm vi dòng chảy làm việc 1 ~ 10 l / phút Nhiệt độ hoạt động 5 ~ 40 ° C Nhiệt độ lưu trữ 30 ~ 70 ° C nguồn điện 20 ~ 28 V DC mức tiêu thụ điện năng 5 W tối đa Lớp cầu chì bên ngoài Loại nóng chảy nhanh 500 mA Xuất dữ liệu Modbus ASCII hai dây RS485 Đầu ra cảnh báo và báo động 2 cách Điện áp tối đa 40 V DC Tối đa hiện tại 100 mA Chất liệu của Gas Contact Vật liệu vỏ Thép không gỉ AISI 316L với bề mặt bên trong đánh bóng điện<10 Ra Cấu trúc cảm biến Chất điện phân Alumina,Bảo vệ mạ vàng trên,Lớp nhôm dưới Khối lượng bên trong 4,4 cm³ trọng lượng 450g Giao diện đường dẫn khí VCR 1/4 'm Giao diện điện 9 - kim D - loại m giao diện Tương thích điện từ EN50081-2 và EN50081-2