VIP Thành viên
Hệ thống OTL-PECVD-1200 PECVD
Mô tả Sản phẩm: Hệ thống hệ thống OTL-PECVD-1200 PECVD, bao gồm lò ống chân không OTL-1200-S nhỏ, buồng chân không thạch anh, nguồn RF, hệ thống cấp k
Chi tiết sản phẩm
Hệ thống OTL-PECVD-1200PECVD, bao gồm lò ống chân không OTL-1200, buồng chân không thạch anh, nguồn RF, hệ thống cấp khí GX, hệ thống bơm khí, hệ thống đo chân không.
Các tính năng chính:
1, khí trong buồng chân không thạch anh trở thành ion bằng cách cung cấp điện tần số vô tuyến.
2, PECVD có nhiệt độ thấp hơn so với CVD thông thường cần thiết để lắng đọng hơi hóa học.
3, kích thước ứng suất của bộ phim lắng đọng có thể được kiểm soát bởi tần số của nguồn điện tần số vô tuyến.
4, PECVD có tỷ lệ lắng đọng hơi hóa học cao, tính đồng nhất tốt, tính nhất quán và ổn định cao hơn CVD thông thường.
5, được sử dụng rộng rãi trong: sự phát triển của các bộ phim khác nhau, chẳng hạn như: SiOx, SiNx, SiOxNy và silicon vô định hình (a-Si: H), v.v.
Hệ thống OTL-PECVD-1200 PECVD sử dụng dây điện trở Kanthal của Thụy Điển làm yếu tố làm nóng. Nó sử dụng cấu trúc vỏ hai lớp và dụng cụ kiểm soát nhiệt độ chương trình 30 phần, kích hoạt pha, điều khiển bằng silicon điều khiển. Lò sử dụng vật liệu sợi đa tinh thể nhôm oxit, cả hai đầu của ống lò có thể được niêm phong bằng thép không gỉ, có vòi khí, van và đồng hồ đo áp suất được lắp đặt trên mặt bích bằng thép không gỉ. Độ chân không có thể đạt 10-3 Pa khi hút chân không. Nó có những ưu điểm như cân bằng nhiệt độ trường, nhiệt độ bề mặt thấp, tốc độ tăng nhiệt độ nhanh, tiết kiệm năng lượng và giá cả thuận lợi.
(1), nhiệt độ bề mặt cao lên đến 1420 ℃
(2), bề mặt là thép không gỉ màu (rất sáng, khách hàng nhận ra khi chú ý), sẽ không bị rỉ sét, thời gian sử dụng lâu hơn nữa sẽ không bị rỉ.
(3), cân bằng điện trở, cân bằng trường nhiệt độ tốt
(4), yếu tố làm nóng: dây điện trở nhập khẩu Kanthal A1 của Thụy Điển (dây điện trở có thể hứa bảo hành 2 năm)
Cuộc họp trống tự động ngắt kết nối khi mạch quá dòng hoặc rò rỉ
Lò được trang bị giao diện truyền thông và phần mềm, có thể điều khiển các thông số khác nhau của lò trực tiếp thông qua máy tính, và có thể quan sát giá trị nhiệt độ PV và SV trên lò và điều kiện hoạt động của đồng hồ đo từ máy tính, đường cong tăng nhiệt thực tế của lò sẽ được vẽ trong thời gian thực, và có thể lưu dữ liệu nhiệt độ của từng thời điểm, có thể điều chỉnh độ chân không bất cứ lúc nào.
(1), chất lượng cao độ tinh khiết cao nhôm oxit polycrystalline chữa lò với hút chân không và lọc hình thành.
(2) Áp dụng công nghệ Nhật Bản để tạo hình.
(3) Khoảng cách và khoảng cách của dây điện trở trong lò được sắp xếp theo công nghệ nhiệt tối ưu của Nhật Bản, sau khi phần mềm nhiệt mô phỏng trường nhiệt độ
(4), sử dụng 4 tuần sưởi ấm, trường nhiệt độ cân bằng hơn
(Tất cả các thiết bị điện nhập khẩu được chứng nhận UL)
Yêu cầu trực tuyến
-
Liên hệ
-
Công ty
-
Điện thoại
-
Thư điện tử
-
Trang chủ
-
Mã xác nhận
-
Nội dung tin nhắn
-