OTL-PECVD-1200-1400-1200 Hệ thống PECVD ba vùng nhiệt độ, bao gồm ba lò ống chân không trượt, buồng chân không thạch anh, nguồn RF, hệ thống cấp khí GX, hệ thống bơm khí, hệ thống đo chân không, cơ chế kéo điện.

Các tính năng chính:

1, khí trong buồng chân không thạch anh trở thành ion bằng cách cung cấp điện tần số vô tuyến.

2, PECVD có nhiệt độ thấp hơn so với CVD thông thường cần thiết để lắng đọng hơi hóa học

3, kích thước căng thẳng của bộ phim lắng đọng có thể được kiểm soát bởi tần số của nguồn cung cấp RF

4, PECVD có tỷ lệ lắng đọng hơi hóa học cao, tính đồng nhất tốt, tính nhất quán và ổn định cao hơn CVD thông thường.

5, được sử dụng rộng rãi trong: sự phát triển của các bộ phim khác nhau, chẳng hạn như: SiOx, SiNx, SiOxNy và silicon vô định hình (a-Si: H), v.v.

Hệ thống PECVD khu vực ba nhiệt độ này là một hệ thống PECVD có khả năng làm nóng và làm mát nhanh chóng. Nó là một cặp đường trượt điện được lắp đặt trong ba lò ống, có sẵn hệ thống trượt điện. Tốc độ sưởi ấm và làm mát lên đến 100 ° C/phút. Để có được sưởi ấm nhanh nhất, lò có thể được làm nóng trước đến nhiệt độ thiết lập, sau đó di chuyển bếp đến loại mẫuĐặt. Để làm mát nhanh nhất, bếp có thể được di chuyển đến đầu kia sau khi mẫu được làm nóng. Tốc độ sưởi ấm và làm mát có thể đạt được trong môi trường chân không hoặc khí trơ10 ° C/s, là hệ thống PECVD vùng nhiệt độ kép với chi phí thấp và làm mát nhanh.

Hệ thống PECVD khu vực ba nhiệt độ này sử dụng dây điện trở Kanthal của Thụy Điển và thanh carbon silicon làm yếu tố làm nóng. Nó sử dụng cấu trúc vỏ hai lớp và dụng cụ kiểm soát nhiệt độ chương trình 30 phần, kích hoạt pha, điều khiển bằng silicon. Lò sử dụng vật liệu sợi đa tinh thể nhôm oxit nhập khẩu từ Nhật Bản. Cả hai đầu của ống lò được niêm phong bằng mặt bích bằng thép không gỉ. Nó được trang bị đầu khí, van trên mặt bích bằng thép không gỉ.Và đồng hồ đo áp suất, chân không có thể đạt 10-3 Pa khi hút chân không, chia thành hai vùng nhiệt độ, hai vùng nhiệt độ có thể được kiểm soát độc lập, thiết lập nhiệt độ khác nhau, dễ sử dụng và vận hành đơn giản. Lò có những ưu điểm của cân bằng nhiệt độ trường, nhiệt độ bề mặt thấp, tốc độ tăng nhiệt độ nhanh, tiết kiệm năng lượng, v.v., là các trường đại học, viện nghiên cứu khoa học, doanh nghiệp công nghiệp và khai thác mỏ để làm nhiệt độ cao không khí đốt Sản phẩm lý tưởng cho nút, phát triển graphene, phát triển các loại màng khác nhau.

(1) Độ dày đầu nóng của thanh silicon carbon d là 14mm, nhà sản xuất thông thường sử dụng 12mm, đầu nóng thô, không dễ uốn, tải bề mặt của thanh thấp, tuổi thọ dài.

（2), m chiều dài đầu lạnh là 210mm, nhà sản xuất thông thường sử dụng 180mm, nhiệt độ đỉnh lò dài đầu lạnh là thấp.

(3) Bề mặt của thanh silicon carbon oxy hóa dày đặc, có thể bảo vệ thanh carbon tương đối tốt.

Cuộc họp trống tự động ngắt kết nối khi mạch quá dòng hoặc rò rỉ

Khí quyển lò ốngNhưngĐược trang bị giao diện truyền thông và phần mềm, bạn có thể trực tiếp điều khiển các thông số khác nhau của lò thông qua máy tính, và bạn có thể quan sát giá trị nhiệt độ PV và SV trên lò và điều kiện hoạt động của đồng hồ đo, đường cong sưởi ấm thực tế của lò sẽ được vẽ trong thời gian thực, và bạn có thể giữ dữ liệu nhiệt độ của từng khoảnh khắc, bạn có thể điều chỉnh nó bất cứ lúc nào

(1), chất lượng cao độ tinh khiết cao nhôm oxit polycrystalline chữa lò với hút chân không và lọc hình thành.
(2) Áp dụng công nghệ Nhật Bản để tạo hình.
(3), khả năng chịu nhiệt thấp của vật liệu lò và hệ số dẫn nhiệt thấp, do đó tản nhiệt ít hơn, cách nhiệt tốt và độ phản xạ cao. Nhiệt trường cân bằng.
(4) Lò nhôm oxit dây tốt và dài, chịu nhiệt độ cao, khả năng chống nóng tăng và lạnh mạnh mẽ
(5), bề mặt lò hoàn thiện, không dễ bị mất bột.

(Tất cả các thiết bị điện nhập khẩu được chứng nhận UL)