Đồng hồ đo lưu lượng khối lượng khí nhỏ XR-F001 được thiết kế đặc biệt để đo lường và kiểm soát quá trình của tất cả các loại khí lưu lượng nhỏ. Dòng cảm biến này được sản xuất bằng cách sử dụng chip cảm biến lưu lượng vi cơ điện tiên tiến (MEMS), phù hợp với tất cả các loại khí sạch. Công nghệ đóng gói độc đáo làm cho nó có thể được sử dụng cho tất cả các loại đường kính ống, chi phí thấp, dễ lắp đặt, không cần bù áp suất nhiệt độ, có thể thay thế đồng hồ đo lưu lượng truyền thống loại thể tích hoặc chênh lệch áp suất.