Đồng hồ đo lưu lượng khối thông minh Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng nhỏ Máy đo lưu lượng khí loại nhiệt
Sử dụng&Tính năng
Bộ điều khiển dòng chảy khối lượng (Mass Flow Controller viết tắt MFC) được sử dụng để thực hiện các phép đo và kiểm soát chính xác dòng chảy khối lượng của khí. Chúng có vai trò quan trọng trong nghiên cứu khoa học và sản xuất trong ngành công nghiệp bán dẫn và mạch tích hợp, ngành vật liệu đặc biệt, ngành công nghiệp hóa chất, có nhiều lĩnh vực công nghiệp, dược phẩm, *** và đèn chân không. Các trường hợp ứng dụng điển hình của nó bao gồm: thiết bị công nghệ điện tử, như phổ biến, kéo dài, CVD、 oxy hóa, khắc plasma, phún xạ, tiêm ion; Và thiết bị mạ, nóng chảy sợi quang, thiết bị vi phản ứng, hệ thống phân phối khí hỗn hợp, đo mao mạch, sắc ký khí và các dụng cụ phân tích khác.
Các chỉ số kỹ thuật chính
Phạm vi (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0~1,2,3,5,10) SLM
Độ chính xác+1,5% FS
Tuyến tính+0,5~1,5% FS
Độ chính xác lặp lại+0,2% FS
Thời gian đáp ứng 10sec Đặc tính khí: (1~4) sec
Chênh lệch áp suất làm việc 0,1~0,5MPa
Áp lực kháng 3Mpa 6Mpa 10Mpa
Nhiệt độ môi trường làm việc 0~70 ℃
Giao thức RS485 MODBUS
Khối lượng tương tự DC 0~5V, 4~20mA Tùy chọn
Tính năng điện: SLM
Cung cấp điện DC+15V/24V Tùy chọn, Lưu lượng kế<50mA, Bộ điều khiển<200mA
Kết nối điện DB15
Tỷ lệ rò rỉ 1 × 10 SCCSHe
Vật liệu cơ sở Thép không gỉ 316L
Vật liệu niêm phong Viton, cao su Dinging, Neoprene
Đường dẫn khí Φ3, Φ6, Φ10, 1/8 ", 1/4", 3/8 "
Lưu ý: Đồng hồ đo lưu lượng khối và bộ điều khiển lưu lượng khối thường được đánh dấu bằng nitơ (N₂).
Các đơn vị của dòng chảy khối lượng được quy định là: SCCM (tiêu chuẩn ml/phút); SLM (L/phút tiêu chuẩn)
Đồng hồ đo lưu lượng khối thông minh Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng nhỏ Máy đo lưu lượng khí loại nhiệt