Giới thiệu chức năng sản phẩm:
Hệ thống đánh bóng ion Argon là một thiết bị làm mẫu loại máy tính để bàn để chuẩn bị mặt cắt và đánh bóng bề mặt mẫu để mẫu có thể được thử nghiệm và phân tích trên SEM và các thiết bị khác. Có rất nhiều loại vật liệu có thể được xử lý bằng cách sử dụng IlionII để đánh bóng, bao gồm mẫu vật bao gồm nhiều nguyên tố, cũng như hợp kim, vật liệu bán dẫn, polymer và khoáng chất có độ cứng cơ học, kích thước và đặc tính vật lý khác nhau. Chẳng hạn như phần hàn, điểm hàn mạch tích hợp, phần màng nhiều lớp, hạt, mặt cắt sợi, vật liệu composite, gốm sứ, kim loại và hợp kim, khoáng chất đá và các vật liệu phi kim loại vô cơ khác như SEM, EBSD mẫu.
Thông số kỹ thuật chính của sản phẩm:
1. Súng ion: Hai cấu trúc ba phần tử (cathode, anode và cực tập trung) được trang bị nam châm đất hiếm Súng ion Panning, thiết kế chùm ion tập trung, hiệu suất cao không có vật tư tiêu hao
2. Góc đánh bóng:+10 ° đến -10 °, mỗi súng ion có thể được điều chỉnh độc lập
3. Năng lượng chùm ion: 100 V đến 8,0 kV
4. Mật độ dòng chảy chùm ion: đỉnh 10 mA/cm2
5. Tốc độ đánh bóng: 300 μm/h (đối với mẫu silicon trong điều kiện 8,0 kV)
6. Tải mẫu: Vách ngăn mẫu Ilion, lắp đặt mẫu đơn giản, vị trí đánh bóng lại chính xác, có thể tái sử dụng, với Sample Stub có thể chuyển trực tiếp vào SEM để quan sát
7. Xoay mẫu: 0,5 đến 6 vòng/phút điều chỉnh liên tục
8. Điều chế dòng chảy chùm: Chức năng điều chế chùm ion, có thể được đánh bóng phần quạt (góc quạt có thể điều chỉnh từ 10 đến 90 độ) và đánh bóng phẳng
Quan sát mẫu: Kính hiển vi zoom kỹ thuật số với PC và phần mềm Digital Micrograph để thu thập hình ảnh thời gian thực (300x – 2.200x) và lưu trữ và phân tích hình ảnh thông qua phần mềm Gatan Digital Micrograph
10. Bàn làm mát nitơ lỏng: Cấu hình bàn làm mát nitơ lỏng, nhiệt độ thấp của mẫu zui có thể lên đến -120 ° C, giảm hiệu quả thiệt hại do chùm ion gây ra cho mẫu
Hệ thống hút chân không:
11. Hệ thống bơm khô: Bơm màng hai giai đoạn hỗ trợ bơm phân tử tuabin 80 lít/giây
12. Áp suất: áp suất cơ bản 5x10-6 Torr, áp suất làm việc 8,5x10-5 Torr
13. Máy đo chân không: loại cathode lạnh, được sử dụng trong buồng mẫu chính; Loại rắn cho máy bơm cơ khí giai đoạn trước
14. Khóa không khí mẫu: Thiết kế Whisperlok, thời gian thay đổi mẫu<1 phút, không cần phá vỡ chân không buồng mẫu
Giao diện người dùng:
Màn hình cảm ứng 15,10 inch: Dễ vận hành và có thể điều khiển hoàn toàn tất cả các thông số được lập trình để vận hành công thức.
16. Chế độ hoạt động: tùy chỉnh kết hợp các thông số xử lý khác nhau để đạt được hoạt động một phím.
Các lĩnh vực ứng dụng chính của sản phẩm:
Chuẩn bị mẫu EBSD
Chuẩn bị mẫu phần
Vật liệu kim loại (hợp kim, mạ)
Khoáng sản địa chất dầu mỏ
Vật liệu quang điện
Vật liệu polymer hóa học
Vật liệu pin năng lượng mới
Thiết bị bán dẫn điện tử

Bảng mạch PCB Phần đánh bóng sơ đồ SEM

Phần đánh bóng thép mạ kẽm

Hạt Zn

Hạt Fe
